Microfabrication pour la miniaturisation, la Fonctionnalisation et l'Hybridation des Systèmes microTechniques et l'Outillage

Données principales

Localisation :
Besançon
Responsable opérationnel·le de la plateforme :
Gérard Michel
Contacter la plateforme

Missions scientifiques

Commune à plusieurs laboratoires, la plateforme MIFHySTO vise à développer, améliorer et hybrider des procédés de microfabrication mécanique pour la réalisation de composants ou de détails submillimétriques avec une précision micrométrique. Elle dispose de compétences sur la majeure partie des technologies employées à ces échelles. La plateforme dispose également de moyens de métrologie des pièces et assemblages (nano-micro-tomographie X, microscopes 3D, MMT) ainsi que des matériaux (analyses DRX, MEB, AFM...).

Objectifs scientifiques

Procédés de microfabrication.