Microfabrication pour la miniaturisation, la Fonctionnalisation et l'Hybridation des Systèmes microTechniques et l'Outillage

Key data

Location:
Besançon
Operational manager of the platform:
Gérard Michel
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Scientific missions

Commune à plusieurs laboratoires, la plateforme MIFHySTO vise à développer, améliorer et hybrider des procédés de microfabrication mécanique pour la réalisation de composants ou de détails submillimétriques avec une précision micrométrique. Elle dispose de compétences sur la majeure partie des technologies employées à ces échelles. La plateforme dispose également de moyens de métrologie des pièces et assemblages (nano-micro-tomographie X, microscopes 3D, MMT) ainsi que des matériaux (analyses DRX, MEB, AFM...).

Scientific objectives

Procédés de microfabrication.