nanoRennes, site de l'Institut FOTON
nR
Données principales
Missions scientifiques
NanoRennes est une plateforme technologique régionale, labellisée par le CNRS depuis 2007. Elle est la plateforme de référence, dans le grand ouest, du réseau RENATECH+ ayant pour but de fédérer les moyens techniques et les savoir faire des acteurs de la recherche en micro et nanofabrication. NanoRennes regroupe les moyens technologiques de l’IETR ( département OASiS) et de l’Institut FOTON (département OHM) pour la croissance de matériaux et la micro-nano fabrication de dispositifs électroniques, photoniques ou pour la production d’énergies renouvelables. La plateforme est localisée sur 2 sites (IETR et Institut FOTON), chaque site ayant des compétences et équipements spécifiques et complémentaires.
Objectifs scientifiques
La plateforme nR-site Institut FOTON apporte principalement son soutien scientifique et technologique pour le développement de composants avancés pour la photonique intégrée, pour la production d'énergies renouvelables (cellules photovoltaïques, cellules photoélectrochimiques pour la production d’hydrogène vert) et pour les technologies quantiques. Elle dispose de l’ensemble des équipements nécessaires à la réalisation des étapes technologiques, du substrat jusqu’au composant, dans un environnement adapté ( ≈150m² de salle blanche et ≈250m² de salle grises) : bâtis d’épitaxie MBE des filières semiconductrices GaP, InP, GaAs, chambres de préparation de surface et d’épitaxie Si pour l’intégration de structures III-V sur substrat Si, technologies de lithographie (du µm jusqu’à la centaine de nm) et de gravure sèche/humide pour les filières III-V/Si, systèmes pour le dépôt de couches minces (contacts métalliques, diélectriques) et de traitements optiques (du visible au MIR), équipements de caractérisation (AFM, DRX, Ellipsométrie…) jusqu’à la mise en boitier et la connexion des composants.
La plateforme nR-site Institut FOTON vous accompagne pour répondre à vos besoins sous la forme de projet collaboratif et/ou de prestations. Elle propose également des formations adaptées pour développer vos compétences.