GECCO 200-300
GECCO
Données principales
Missions scientifiques
La plateforme GECCO 200-300 du LTM (500 m² de salle blanche) est intégrée dans la salle blanche 200-300 mm du CEA-Leti (plateforme silicium, PFS) et dans sa plateforme de nano-caractérisation (PFNC). Cette plateforme est composée de deux plateformes spécifiques : PEGNA, une plateforme de processus de gravure et d'épitaxie, et IMPACT, une plateforme de caractérisation liée à l'équipement de processus. Cette plateforme 200-300 dispose également d'un équipement de caractérisation hors ligne.
Objectifs scientifiques
La plateforme GECCO 200-300 est utilisée pour le développement et la caractérisation de procédés technologiques sur des substrats pouvant aller jusqu’à 300 mm et est dédiée aux programmes de recherche en micro- et nanoélectronique. Elle s’articule autour de trois axes, gravure, épitaxie et caractérisation. La partie caractérisation regroupe la plateforme IMPACT, qui combine des techniques de caractérisation avancées (pARXPS, ellipsométrie et polarimétrie IR-VUV, Raman et PL IR-UV) et constitue un ensemble très spécifique et unique et un FIB-STEM localisé sur la plateforme de Nanocaractérisation (PFNC) du CEA-Leti.