Centre de Caractérisation et Procédés Plasma et Laser pour la micro-nanofabrication

Picto Mécanique des fluides / Aérodynamique

C2P2L

Données principales

Domaine(s) scientifique(s) :

Génie des procédés, Matériaux, Mécanique des fluides, Micro et Nano-électronique, Micro et Nanosystèmes, Nanotechnologies, Plasmas

Domaine(s) d'application :

Efficacité énergétique, Électronique, Technologies pour la santé

Laboratoire :

Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés

Année de création :

2012

Réseau :

Renatech+

Localisation :

Orléans

Responsable opérationnel·le de la plateforme :

Loïc BECERRA

Contacter la plateforme

https://www.univ-orleans.fr/fr/gremi/equipements/plateformes/centre-de-caracter…

Missions scientifiques

Cette plateforme est un ensemble d’équipements à disposition du laboratoire GREMI pour l’élaboration de micro/nano-objets et l’optimisation des procédés plasma de dépôts et de gravure avec l’aide de technologies de nanofabrication. Constituée d'une salle blanche de 100m² ISO 6 ainsi que d'un espace voisin en environnement propre ISO 8, la plateforme comporte plusieurs réacteurs de procédés plasma ainsi qu'un grand nombre de moyens de caractérisation des matériaux.

Objectifs scientifiques

Ses objectifs scientifiques sont la gravure sèche et la microélectronique.