NanoSaintÉtienne
NanoSaintÉtienne
Données principales
Domaine(s) scientifique(s) :
Nanotechnologies Domaine(s) d'application :
Aéronautique et espace, Efficacité énergétique, Électronique, Énergies nucléaires, Énergies renouvelables, Technologies pour la santé, Traitement de l'eauLocalisation :
Saint-Étienne
Responsable opérationnel·le de la plateforme :
Arnaud
MEYER
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Missions scientifiques
Fournir aux usagers (chercheurs du Laboratoire Hubert Curien, utilisateurs externes) un environnement de salle blanche et des équipements appropriés pour la micro/nano structuration de surfaces, le dépôt de couches minces, et leur caractérisation.
Objectifs scientifiques
- Permettre le dépôt de couches par voie chimique ou physique sur des substrats de 1cm à 40 cm,
- Réaliser des opérations de photolithographie/nanoimpression à des résolutions de 10 μm à 100 nm,
- Réaliser des dépôts de couches minces métalliques à des épaisseurs de 2 nm à 200 nm,
- Caractériser l'épaisseur des couches déposées et leur topologie de surface.